管道泄漏泄漏這個經常出現，直接會導致真空度降低、排氣時間延長從而影響產品的質量。通過保壓測漏法來檢測泄漏是常見的方法。而查找漏點可以通過正壓法或者真空檢測儀就可以。
供電系統是保證真空泵正常運行的前提，因此定期巡檢供電系統必不可少。日常檢查連接是否松動、線路是否過熱或者腐蝕以及燒蝕等情況。檢查過載保護、短路保護以及地線檢查。一個穩定的供電系統是真空泵可靠運行關鍵。
定期對真空泵進行巡檢，其主要巡檢內容包括泄漏、老化、采集分析溫度、壓力、電流以及設備振動數據等。對于老化部件需要定期進行更換，提高效率和穩定性。
后處理，有的工藝會產生殘留物堵塞后處理，堵塞不僅會導致真空泵排氣壓力高，還會導致能耗增加最終導致設備故障停機。泄漏會引起安全風險和環境污染。因此后處理也要定期進行維護。
冷卻系統維護也是有必要的，站房通風、散熱器、冷卻水系統這些都屬于冷卻系統。如果真空一直在高溫狀態下運行會降低設備運行效率、故障率增加等。通過采集數據進行分析來評估冷卻系統性能。
定期對真空泵進行維護是保證設備安全、穩定、高效運行必不可少的。通過專業工具或診斷設備進行檢查，一旦有異常情況就需要進行維護保養。
